发布时间: 2023-08-13 23:29:31 人气：1 来源：常见问题
信息工业的供应链安全和完好的本乡生态系统是一个按部就班的困难进程，开始层级是的自主开发和出产，从而衍生出对国产设备的需求。但现实标明，即便设备能国产也还不行。美国制裁我国也不得不屈服于美国禁令，其本源仍是在要害零部件上依靠美国。零部件比较于设备整机而言商场规划不大，但的确是典型的以小制大的卡脖子环节。
2020年，我国大陆晶圆线吋前道设备零部件（parts）收购金额超越10亿美元。假如扫除三星、海力士、台积电等境外厂商在我国大陆的产线，我国本乡晶圆制造厂商（首要包含中芯国际、华虹集团、华润微电子、长江存储等）收购金额（口径一致为8吋和12吋前道设备零部件，后文同）约为4.3亿美元。我国晶圆制造厂商收购的设备零部件首要有石英（Quartz）、射频发生器（RFGenerator）、各种泵（Pump）等，占零部件收购金额的比重到达或超越10%。此外，各种阀门（Valve）、吸盘（Chuck）、反响腔喷淋头（Shower Head）、边际环（Edge Ring）等零部件的收购占比也比较高。
前文所述首要的零部件中，国产化率超越10%的有Quartz制品、Shower head、Edge ring等少量几类，其他的国产化程度都比较低，特别是Valve、Gauge、O-ring等简直彻底依靠进口。依据芯谋总结，国产化率低的零部件一般契合下面几个特征中的一项或多项：
1、 比较复杂的电子和机械产品，开发技能难度较大，精度要求高。例如RF generator直接关系到腔体中的等离子体浓度和均匀度，是Etch、PECVD等重要机台最要害的零部件之一，而国产RF generator首要的技能问题在于电源电压和频率等参数尚不行安稳，较AE等国外企业有必定距离。又例如Pump，尽管我国的沈阳科仪已成为国内晶圆线干泵的首要供货商之一，但半导体级的高真空度只要价格更高的cryopump和turbopump才干完成，这并非我国厂商所长。Gauge也是如此，我国外表工业只能满意一般真空丈量的要求，达不到半导体工艺的高精度要求。
2、 对资料要求高。我国厂商强于机加工和成型，但资料工业根底薄弱。Valve、Shower head、Ce等零部件，尽管我国厂商能够依照图纸做成型，但往往无法处理资料和外表处理问题，因而开展遭到根底的限制。
3、 商场小、碎片化特征显着。例如Gauge、MFC、O-ring等零部件，不只对精度和资料的要求高，并且半导体级产品的商场规划很小，在我国商场即便算上外商收购也不过两三千万美元的金额。不只商场规划小，有些产品还品种繁复，不同品种作业原理差异明显，是一个呈现典型碎片化特征的商场，我国厂商的爱好和动力也缺乏。
要处理半导体出产设备零部件卡脖子问题，首先要国内晶圆厂和设备厂一起高度注重，协同本乡零部件厂商联合攻关。本乡晶圆线要勇于给国产设备和零部件验证时机，实在发挥大出产线组织协调的效果。设备原厂要发挥衔接两头的串联效果，活跃主动推进对国产零部件厂商的认证推荐给客户。在晶圆厂和设备厂的大力支撑下，要鼓舞机械、电子、化工等范畴的设备零部件厂商活跃拓宽并做大半导体事务，根据本身技能根底，开发更高端的产品满意半导体设备所需。大部分零部件我国厂商都把握根底技能，仅仅暂时达不到半导体的规范，在有较强实力的客户的带动下并非没有时机。国产Quartz、RF generator、Shower head、Edge ring、MFC、Ceramic等零部件，都已在晶圆线上广泛验证乃至是批量出货，未来将进一步站稳商场，逐步脱节对美依靠，仅仅时刻各有长短罢了。
其次，仍是要注重海外企业和技能资源。即便是国际设备巨子，为快捷服务大陆出产线客户，也在推进部分零部件的国产化。比较典型的事例：因为全球Quartz产能趋紧，国际设备巨子先后经过了对菲利华、太平洋石英等国内Quartz资料厂商的认证，为其Quartz制品进入国内晶圆线翻开通路。此外，神工半导体、靖江前锋等厂商也都有多项产品经过国际设备巨子的认证。在疫情的影响下，国际设备巨子构建本乡零部件供应链以保证大陆客户所需的活跃性也大幅提高。相关部分在持续支撑国际设备巨子在华开展的一起，应对其提出帮忙构建国产零部件供应链的要求或期望，打造可控的半导体出产环节生态系统。一些日本和欧洲的零部件厂商，因为当地晶圆产能逐步萎缩，对正在蓬勃开展的我国大陆商场爱好日积月累，也为我国本钱协助其技能在华工业化供给了时机。
最终，针对一些商场规划过小的确没有本乡厂商乐意进入的零部件，只能由某些受美国禁令危害最大的企业实在承担起主体职责，在相关部分的支撑下出资出团队自给自足，处理本身面对的卡脖子要挟。关于不契合经济效益的范畴，处理问题只能经过非商场的手法。此刻求人不如求己，切勿抱有不实在际的梦想。
科技大学技能物理系副主任兼教授，北大、复旦兼职教授，成都电子科技大学名誉教授，以及
。 11月3日在湖南长沙举办的2020年国际计算机大会上，81岁高龄的
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”，这个词语，在本年两会上，被不断提及。 在本年的政府作业报告中，也开出了许多“良药”。 工业、农业、科技、交易……在许多重要范畴中，都遇到了
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